基本信息
标准名称: | 高真空蒸发设备参数系列 |
英文名称: | High-vacuum coating equipment parameters series |
中标分类: | 电子元器件与信息技术 >> 电子工业生产设备 >> 其他生产设备 |
替代情况: | 被SJ/T 11131-97代替 |
发布日期: | |
实施日期: | 1977-01-01 |
首发日期: | |
作废日期: | |
出版日期: |
适用范围
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前言
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目录
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引用标准
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所属分类: 电子元器件与信息技术 电子工业生产设备 其他生产设备